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ECRプラズマスパッタリング法による層状化合物薄膜の合成
https://hi-tech.repo.nii.ac.jp/records/1908
https://hi-tech.repo.nii.ac.jp/records/19084cf12a30-5890-4e81-9542-29123eb195da
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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01_10_011-017_1 (72.4 kB)
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.png)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2012-06-07 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ECRプラズマスパッタリング法による層状化合物薄膜の合成 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Bi4Ti3O12 Films by ECR Plasma Sputtering Depositions | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
増田, 陽一郎
× 増田, 陽一郎
× 馬場, 明
× 増本, 博
× 後藤, 孝
× 平井, 敏雄
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| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
p. 11-17, 発行日 1991-02-28 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 八戸工業大学 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0287-1866 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00205113 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 論文ID（NAID） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 120005891802 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | http://www.hi-tech.ac.jp/ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 八戸工業大学 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
