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アルミ薄膜表面の微細加工に関する研究
https://hi-tech.repo.nii.ac.jp/records/3452
https://hi-tech.repo.nii.ac.jp/records/34529ea10cab-c4af-451c-a141-cef6e4f562e0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
要旨(紀要掲載) (301.9 kB)
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.png)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-06-07 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | アルミ薄膜表面の微細加工に関する研究 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Study on micromachining on surface of aluminum thin film | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||||||
| 著者 |
中村, 勇夫
× 中村, 勇夫
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| 学位名 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 学位授与機関名 | 八戸工業大学 | |||||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2005-03-19 | |||||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第26号 | |||||||||||||
